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微型電磁式致動器設計與製造 - 陸軍軍官學校
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日期:2025-05-07
動等),而尺寸在微米等級的元件。在微機. 電系統中,微致動器的致動原理有電磁. 式
、靜電式、壓電式等,工研院機械所目. 前正發展各種原理的微致動器,尤其以具....看更多