微影術中的解析度 - Yahoo!奇摩知識+

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日期:2025-11-12
NA:numerical aperture數值孔徑 DOF:depth of focus聚焦深度 RES:resolution解析度 λ:lamda曝光波長 ... 只要關於圖形上的 定義(patterning),皆需要使用微影技術,本文將對一般最常使用的光學微影技術(Optical......看更多