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微机电系统- 维基百科，自由的百科全书
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日期：2025-12-07
微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到 ... 1964年，西屋公司的一支团队制造出了第一批微机电设备。...看更多
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