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微機電系統 - 維基百科，自由的百科全書
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日期：2024-05-10
微機電系統（英語：Microelectromechanical Systems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的，在納米範圍的類似的技術被稱為奈機電系統。微機電系統在日本被稱作微機械（英語：micromachines ......看更多
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