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微機電系統- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia
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日期：2025-10-13
微機電系統（英語：Microelectromechanical Systems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米範圍內。比它更小 ......看更多
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