微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管

微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管

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日期:2025-06-02
放入微波加热装置中,在N 保护下退火晶化,微波. 加热装置原理如图1所示,主要由微波发生器、波导....看更多