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微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管_百度文库

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日期：2025-06-01
行動版 - 2013年3月19日 - 采用非晶硅薄膜微波退火固相晶化法低温制备出多晶硅薄膜 ..... 电子陶瓷工艺原理［ ．...看更多

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