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應用影像辨識於微步進平台之精密定位控制 - 國家圖書館全國博碩士論文
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日期：2025-05-16
透過平台系統搭配次像素之影像辨識系統，粗定位之辨識精度可達到53.3μm，細
定位的定位精度約可達到1.5μm。 ... 圖3.6 CCD影像與平台之系統方向示意圖18...看更多
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