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應用邊界元素法模擬化學機械研磨之晶圓應力分佈對表面不 ...

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日期：2025-09-30
題的邊界元素法，來建立化學機械研磨之二維軸對稱準靜態模型。利用邊界 .... W.T. Tseng[8]利用Hertz理論和應變能原理，將薄板當成晶圓用來計算研磨墊. 和晶圓之 ......看更多

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