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投影片 1 - 中興大學教職員工網頁
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日期：2025-05-06
6.矽晶圓 ＊現有六吋晶圓、八吋晶圓與十二吋晶圓。 ＊矽晶圓的製程： 原料：二氧化矽礦石 大略程序： 電弧爐提煉 鹽酸氯化 並經蒸餾後 多晶矽 融解 摻入矽晶體晶種 拉成單晶矽晶棒 ......看更多
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