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投影片 1 - Advanced Silicon Device and Process Laboratory - 18229SOLAR
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日期：2024-05-30
... 幫浦有以下幾種: 擴散式幫浦 (diffusion pump) 渦輪式幫浦 (turbo pump) 致冷式幫浦 (cryogenic pump) 真空系統示意圖(鍍鋁機) 蒸鍍 根據加熱方式差異，可再分為電阻式(thermal coater)與電子槍式(E-gun evaporator)兩類 電阻式： ......看更多
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