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新型CMOS 全差動出平面加速度計 - 微感測器與致動器產學聯盟
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日期：2025-11-21
寬。在目前的文獻中，許多種類的. CMOS-MEMS 同平面加速度計已經被成功. 的
開發了[1]，然而在出平面方向之加速度. 計較少被成功的呈現出來[2-3]，其原因在於....看更多
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