旋轉塗佈的原理和用途 - Yahoo!奇摩知識+

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日期:2025-06-05
旋轉塗佈的原理 和用途 發問者: ~ㄚ宇~ ( 初學者 5 級) 發問時間: 2007-04-08 14:24:47 解決時間 ... 旋轉塗佈(Spin Coating) : 旋轉夾盤(spin chuck)利用真空吸住玻璃基板後,將化學物質(像半導體或TFT廠用光阻)由上方噴嘴(Nozzle)滴在玻璃或晶圓片上,在 ......看更多