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曝光機的基本工作原理及應用範圍
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日期：2025-05-30
一、什麼是曝光機 曝光機即電子束曝光機，是集電子光學、電氣、機械、真空、電腦技術等於一體的複雜的半導體加工設備。 二、曝光機基本工作原理 在電腦的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光 ......看更多
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