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產學合作成果專刊 25. 微機電陣列式晶圓探針卡
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日期:2025-05-01
圖6:陣列排列式之探針示意圖 圖7:微出平面結構應用於(a)探針卡與 (b)內連線之結構示意圖 圖8:爪狀式探針結構示意圖 圖9:傳統探針於凸塊電極接觸方式 圖10:爪狀探針於凸塊電極接觸方式 圖11:探針之製程流程圖...看更多