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產學合作成果專刊 25. 微機電陣列式晶圓探針卡
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日期：2025-12-05
圖6：陣列排列式之探針示意圖 圖7：微出平面結構應用於(a)探針卡與 (b)內連線之結構示意圖 圖8：爪狀式探針結構示意圖 圖9：傳統探針於凸塊電極接觸方式 圖10：爪狀探針於凸塊電極接觸方式 圖11：探針之製程流程圖...看更多
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