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橢圓偏振技術 - 維基百科，自由的百科全書
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日期：2025-05-26
基本原理 [編輯] 此技術係在測量光在反射或穿透樣品時，其偏振性質的改變。通常，橢圓偏振多在反射模式下進行。偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如厚度、複折射率或介電函數，來決定。雖然光學技術受制於先天繞射極限的限制，橢圓偏振卻可 ......看更多
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