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日期:2025-10-15
論文名稱:低雜訊電容讀取電路應用於MEMS 壓力計元件之研究頁數:92. 校所別: ... 力計陣列形式,以提高不同的壓力感測範圍,以發揮電容感測器的辨識能力,實....看更多