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殘留氣體分析儀在真空設備之應用__臺灣博碩士論文知識加值系統
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日期：2024-05-07
摘要殘留氣體分析儀(簡稱RGA ；Residual Gas Analyzer)被應用於真空領域已超過
三十多年，早期它們的角色僅在於真空測漏、故障原因分析，近年來由於電腦資訊 ......看更多
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