气体质量流量控制器控制原理、结构和应用 - 质量流量计

气体质量流量控制器控制原理、结构和应用 - 质量流量计

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日期:2025-11-22
后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流. 量相等。分流器决定主通道的流量。左图为MFC和流量显示仪连接后的. 工作原理图:. 图1:气体 ......看更多