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氣體管路測試標準程序 - 卡西迪科技有限公司-高空真空管路配管、半導體特殊管路配管、自動控制系統儀表設計
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日期：2025-05-09
將要測試管路之所有進出氣口封起來， 只留下一測試之管路孔，與氦氣測漏儀 銜接。 5.1.2 先將氦氣測漏儀儀器內部真空值抽到 1*10-9atm·cc/sec，確定臨時管沒漏，再 進行主要管路之測試。 測試之管路，盤面抽真空數值必須達到...看更多
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