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超高真空系統測漏標準作業程序

超高真空系統測漏標準作業程序

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日期：2025-11-16
真空系統不可能完全不漏氣，因此只要漏氣率符合真空腔體出廠時的規格即可。 3. .... 在幫浦附近使用酒精測漏時，應注意酒精用量。 Figure 4. 酒精測漏法操作示意圖. Page 6. 五、超高真空度的測漏方法：氦氣測漏儀(Helium Leak Detector). 1. 儀器在 ......看更多

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