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氧化鎂及氧化鉿作為氧化鋅薄膜電晶體介電層之電特性與穩定性研究

氧化鎂及氧化鉿作為氧化鋅薄膜電晶體介電層之電特性與穩定性研究

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日期：2025-06-04
中文摘要, 隨著顯示器尺寸發展越來越大，對於薄膜電晶體的載子遷移率的要求也 ... 本研究利用有高介電常數的氧化鎂及氧化鉿薄膜做為氧化鋅薄膜電晶體的介電層 ......看更多

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