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氧氣電漿灰化彩色濾光片間隔柱之製程研究與光譜分析 - 中原大學
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日期：2025-11-08
中文摘要. 本研究利用氧氣電漿去除光阻做成的間隔柱(Photo Spacer)，加入. NF3、
氦氣和氮氣及改變其流量配比，觀察各種操作參數對灰化速率. 的影響，並以放射 ......看更多
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