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氮化鋁薄膜表面結構及感測特性之研究
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日期:2025-06-10
氮化鋁薄膜沉積於 矽基板 之SEM 表面結構 圖6. 氮化鋁薄膜沉積於二氧 化矽/ 矽基板之SEM 表面結構 子感測元件之 ......看更多