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水平式真空幫浦螺旋轉子動平衡之分析與量測 - 國立虎尾科技 ...

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日期：2025-05-15
維持真空系統潔淨度上比起油封式真空幫浦的表現. 要好很多，而在半導體產業等被廣泛應用。 乾式真空幫浦依機械結構不同可細分為魯式. (Roots)、爪式(Claw)、螺旋 ......看更多

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