濺鍍- 台灣Wiki

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日期:2025-05-30
磁控濺射:在陰極靶表面形成一正交電磁場,在此區電子密度高,進而提高離子密度,使得濺鍍率提高(一個數量級),濺射速度可達0.1—1 um/min膜層附著力較蒸鍍佳,是目前最 ......看更多