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無塵實驗室 - 國立清華大學奈微與材料科技中心
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日期：2025-06-19
第二間無塵室位於工程三館後棟三樓，佔地約九十坪（300 m2），可分為一般製程設備區、黃光區、以及化學區。 Ⅱ-A 一般製程設備區 CO2 dryer：此儀器是利用高壓液態的二氧化碳對試片表面進行清潔，在二氧化碳揮發的過程中，除了清潔表面外，並可以 ......看更多
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