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日期：2025-05-10
本研究係利用TSMC 0.35μm 2P4M 標準製程製作微氣體感測器，其結構包含 N 型 ... 型多晶矽上則要沉積氣體反應薄膜，氣體反應薄膜為二氧化錫(SnO2 ) 係利用凝膠 ......看更多

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