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日期:2025-12-06
本研究係利用TSMC 0.35μm 2P4M 標準製程製作微氣體感測器,其結構包含 N 型 ...
型多晶矽上則要沉積氣體反應薄膜,氣體反應薄膜為二氧化錫(SnO2 ) 係利用凝膠 ......看更多














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