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用於矽薄膜太陽能電池之VHF PECVD之射頻關鍵技術 - 越吟有限公司 ...
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日期：2025-06-02
電漿增強式化學氣象沈積系統(PECVD)可說是矽薄膜太陽能電池三大生產設備中 ...
矽薄膜太陽能電池的發展為何需要30~300 MHz之VHF PECVD，並介紹現有設備 ...
接著，文章分享如何改良現有PECVD製程腔體設計之實務經驗，包含RF電極駐波 ......看更多
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