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真空幫浦抽氣性能檢測技術 - 國研院儀科中心
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日期：2024-06-17
... 、真空幫浦抽氣速率檢測系統配置示意圖， 1. 測試腔體、2. 前級 ... 本中心整合先前真空幫浦開發相關研究成 果，根據 ISO 規範自行設計建立之真空幫浦抽 氣性能檢測系統，可測試半導體、光電及石化 產業等製程設備之各種油式及乾式幫浦 ......看更多
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