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真空系统的基本组成 - 真空泵
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日期：2025-05-30
如下图所示，真空系统有下列组件构成：. 1 真空室; 2 高真空泵（主泵）; 3 预抽泵; 3 a
前级泵; 4 高真空阀门; 5 低真空阀门; 6 前级管道; 7 放气阀; 8 低真空计; 9 高真空计
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