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矽晶圓的阻值如何測量- Yahoo!奇摩知識+
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日期：2025-06-03
2008年11月10日 - 片電阻的定義為當sample的長= 寬時sample 兩端的電阻 ... 如此量得晶圓的片電阻 為Rsh後，假設晶圓的厚度為d (cm)，則可求得電阻率ρ = Rsh x d ......看更多
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