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磁控濺渡氮氧化矽薄膜材料之機械性質檢測與分析及其在微機電裝置 ...

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日期：2025-10-07
氮氧化矽(SiOxNy)是由氧化矽(SiO2)及氮化矽(Si3N4)以不同比例混合而成的複合 ... 在彈性模數與硬度方面，熱退火溫度增加此兩性質會變大；在熱退火處理溫度 ......看更多

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