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第二章高科技潔淨室災害概述
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日期：2025-10-09
的標準，以class 10 為例，意謂在單位立方英呎的潔淨室空. 間內，平均只有粒徑0.5
微米以上 ... 依據美國聯邦標準209D 潔淨室規格，國內常用的潔淨室. 依其潔淨度可
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