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自動化物料搬運系統之動態車數分析 - 國立清華大學
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日期：2025-06-01
Abstract: 本研究以國內某12吋晶圓廠之自動化物料搬運系統( Automated Material
Handling System，AMHS)為研究對象。由於半導體體製程具有複雜的加工途程及多
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