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薄膜式電磁線圈之製作方法

薄膜式電磁線圈之製作方法

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日期：2025-05-25
Abstract: 本發明係提供一種薄膜式電磁線圈之製作方法，係利用原子力顯微鏡進行微影(Force Lithography)加工，製造具有奈米等級的電磁線圈，進而提高其磁場 ......看更多

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