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超純水製造技術
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日期：2025-05-27
高，所要求之超純水水質純度亦越高。例如，對1Gb DRAM 製程的超純水水質. 之要求為粒徑0.03μm 之微粒子應低於5 個/mL、TOC 與溶氧在1μg/L 以下、重....看更多
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