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超高真空系統測漏標準作業程序 - Google Drive
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日期：2025-10-10
五、超高真空度的測漏方法：氦氣測漏儀(Helium Leak Detector). 1. 儀器在運轉時或電力中斷的五分鐘內，不可移動測漏儀，以避免造成渦輪幫浦損壞。 2. Vacuum ......看更多
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