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超高真空系統測漏標準作業程序
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日期:2024-05-13
1. 儀器在運轉時或電力中斷的五分鐘內,不可移動測漏儀,以避免造成渦輪幫浦損壞。 2. Vacuum Mode ( 小測漏件) 將氦氣測漏儀直接連接至待測漏系統,此種方法適合於高真空 ......看更多