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退火製程對AZO透明導電膜之影響__臺灣博碩士論文知識加值系統
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日期：2025-06-05
本研究的目的是利用射頻磁控濺鍍系統將AZO透明導電膜沈積於康寧玻璃基板上，
然後對薄膜進行雷射退火處理，探討各製程參數對其電阻率的影響。本研究的架構共
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