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鈦酸鍶鋇薄膜氣體感測器之研究 - 國立雲林科技大學
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日期：2025-10-18
(spin-coating) 的方式，旋塗於成長二氧化矽之矽晶片基板上以作為氣體感測器. 之感
測層。而感測器本身必須添加觸媒以增加氣體感測器的靈敏度，本研究所添....看更多
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