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銅金屬與低介電常數材料與製程
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日期：2024-05-09
塗式玻璃(Spin-on glass，簡稱SOG) 材料，. 因其具有低的介電常數，良好的熱穩定
性，. 低漏電流以及製程容易，逐漸成為未來所需. 的低介電常數材料製程技術。...看更多
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