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日期:2024-05-18
FIB是將Ga(鎵)元素離子化成Ga+,然後利用電場加速,再利用靜電透鏡(electrostatic)聚焦, 將高能量、高速的Ga+打到指定的位置。 ... 具有更大的彈性製作寬30um、縱深15um之TEM Sample,並可於TEM觀察後進行更精確的樣品再減薄,取得最佳影像。...看更多