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電漿原理
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日期：2025-06-04
電漿原理. 電漿態為物質除氣、液、固三態之外的第四態，主要是由一團帶正、負電荷
之 ... 帶電的離子與電子團，且維持電中性的狀態下，稱此種氣體為電漿(plasma)。 ...
分為DC、RF濺鍍系統，兩者最大差別在於DC只能用於濺鍍材料為導體性質，而RF ......看更多
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