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電漿反應器與原理

電漿反應器與原理

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日期：2025-05-05
本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用 .... 沉積，這是濺鍍的原理。 ..... 所謂感應耦合式電漿(Inductively-Coupled-Plasma, ICP)，簡單而言係利用RF 所產....看更多

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