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電漿工程原理與應用

電漿工程原理與應用

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日期：2025-05-03
2013年4月12日 ... 電漿工程原理. 與應用. 詹德均 ... 2 MHz, 13.56 MHz, 射頻(Radio Frequency, RF). 2.45 GHz ...... 縮短Matching network至電漿源的距離。 3.使用大 ......看更多

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