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電漿處理的鉭擴散阻障層在銅製程的應用
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日期：2025-06-24
本研究主要探討 氮氣電漿處理的鉭 ( Ta ) 擴散阻障層薄膜在銅製程上的熱穩定性，其 中分別以片電阻的變化、X光的 ......看更多
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