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電漿製程中電漿密度之量測—傳輸線式微波干涉儀Plasma ...
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日期：2025-06-26
在本文中，我們介紹一種電漿製程中的電漿密度量測方式: 傳輸線式微波干涉儀。此干. 涉儀的基本原理與傳統微波干涉儀的原理幾乎相同，差別只在於傳輸線式微波 ......看更多
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