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電漿輔助化學氣相沉積- AST聚昌科技
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日期：2025-11-04
AST聚昌科技Cede-200電漿輔助化學氣相沉積系統，是套可升級支援200mm單晶圓
、可搭配多反應室的先進電漿介電質薄膜沈積製程設備，此系統可應用在製作高 ......看更多
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