高立出版集團-- 微機電系統與微系統設計與製造(Hsu:Mems ...

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日期:2025-06-09
本書出版的目的即在於使讀者深入了解微系統產品的設計、製造及封裝之方法和技術 。 第一章微機電系統與微系統概論. 第二章微系統的工作原理. 第三章微系統設計 ......看更多